氧化铌靶

  产品说明

以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,

从而制备出高纯度、高致密度NbOxmanbetx手机版已登录。

项目 

参数 

检测手段 

纯度  (%)

 ≥99.9


密度  (g/cm3 )

≥4.7

阿基米德密度仪

杂质含量 (ppm)


Ta≤200

Si≤80

Fe≤80

Al≤30

W≤30

Cu: ≤30

杂质总和≤1000

ICP


电阻率 (Ω∙cm)

≤0.2

四探针电阻率仪

建议功率 (kw/m)

15 


  manbetx手机版已登录尺寸

按照图纸要求加工

  背管材质

选用304/316L不锈钢(无磁)

  应用领域

主要用于LOW-E镀膜玻璃,薄膜太阳能电池电极膜系,TFT-LCD,半导体电子。

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