硅铝靶

  产品说明

以等离子体为热源,在大气环境下通过一定的气氛保护装置,将Si+Al粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击

背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、低氧含量、高致密度SiAlmanbetx手机版已登录。

项目

参数

检测手段

纯度 (%)

≥99.9


Al含量 (%)

8-10


密度 (g/cm³)

≥2.2

阿基米德密度仪

杂质含量

(ppm)


Fe: ≤350

Ca: ≤50

Cu: ≤50

Mg: ≤20

Ni: ≤20

O: ≤6000  

N: ≤500

杂质总和(ON除外): ≤1000

ICP

氧氮分析仪


电阻率 (mΩ∙cm)

≤50

四探针电阻率仪

  manbetx手机版已登录尺寸

按照图纸要求加工

  背管材质

选用304/316L不锈钢(无磁)

  应用领

用于制作SiO₂膜、Si₃N4膜,主要用于光学玻璃AR膜,LOW-E镀膜玻璃,半导体电子器件,TFT-LCD,

平面显示,触摸屏玻璃。


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